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27keV Ar~+斜入射时的Cu-Au合金溅射实验角分布

文献类型:期刊论文

作者王震遐 ; 陶振兰 ; 郑里平 ; 曹德新 ; 邹志宜 ; 周祖尧 ; 周伟
刊名核技术
出版日期1988-04-30
期号04
中文摘要用27keV Ar~+分别在垂直和倾斜入射情况下;轰击了Cu-Au(30wt%)合金样品;测量了Cu和Au原子的溅射角分布。角分布是用卢瑟福背散射(RBS)技术分析Al捕获膜上的Cu-Au沉积成分而定量得到的。结果表明:(1)在Ar~+倾斜(θ=40°)入射时;Cu原子择优发射;且程度比垂直入射(θ_r=O°)时增强:(2)倾斜入射时;Cu原子的角分布显示出在接近于样品表面法线方向的发射角范围内(θ<45°);发射机率比垂直入射时减小。
收录类别CNKI
语种中文
公开日期2013-01-23
源URL[http://ir.sinap.ac.cn/handle/331007/10817]  
专题上海应用物理研究所_中科院上海原子核所2003年前
推荐引用方式
GB/T 7714
王震遐,陶振兰,郑里平,等. 27keV Ar~+斜入射时的Cu-Au合金溅射实验角分布[J]. 核技术,1988(04).
APA 王震遐.,陶振兰.,郑里平.,曹德新.,邹志宜.,...&周伟.(1988).27keV Ar~+斜入射时的Cu-Au合金溅射实验角分布.核技术(04).
MLA 王震遐,et al."27keV Ar~+斜入射时的Cu-Au合金溅射实验角分布".核技术 .04(1988).

入库方式: OAI收割

来源:上海应用物理研究所

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