27keV Ar~+斜入射时的Cu-Au合金溅射实验角分布
文献类型：期刊论文
| 作者 | 王震遐 ; 陶振兰 ; 郑里平 ; 曹德新 ; 邹志宜 ; 周祖尧 ; 周伟 |
| 刊名 | 核技术
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| 出版日期 | 1988-04-30 |
| 期号 | 04 |
| 中文摘要 | 用27keV Ar~+分别在垂直和倾斜入射情况下;轰击了Cu-Au(30wt％)合金样品;测量了Cu和Au原子的溅射角分布。角分布是用卢瑟福背散射(RBS)技术分析Al捕获膜上的Cu-Au沉积成分而定量得到的。结果表明:(1)在Ar~+倾斜(θ=40°)入射时;Cu原子择优发射;且程度比垂直入射(θ_r=O°)时增强:(2)倾斜入射时;Cu原子的角分布显示出在接近于样品表面法线方向的发射角范围内(θ<45°);发射机率比垂直入射时减小。 |
| 收录类别 | CNKI |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2013-01-23 |
| 源URL | [http://ir.sinap.ac.cn/handle/331007/10817]  |
| 专题 | 上海应用物理研究所_中科院上海原子核所2003年前 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王震遐,陶振兰,郑里平,等. 27keV Ar~+斜入射时的Cu-Au合金溅射实验角分布[J]. 核技术,1988(04). |
| APA | 王震遐.,陶振兰.,郑里平.,曹德新.,邹志宜.,...&周伟.(1988).27keV Ar~+斜入射时的Cu-Au合金溅射实验角分布.核技术(04). |
| MLA | 王震遐,et al."27keV Ar~+斜入射时的Cu-Au合金溅射实验角分布".核技术 .04(1988). |
入库方式： OAI收割
来源：上海应用物理研究所
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