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Al_xSn_(100-x)合金系统的Ar~+溅射研究

文献类型:期刊论文

作者王震遐 ; 章骥平 ; 潘冀生 ; 陶振兰 ; 朱福英 ; 张慧明 ; 曾跃武
刊名核技术
出版日期1994-07-10
期号07
中文摘要用捕获膜和卢瑟福背散射技术给出了30keVAr+轰击AlxSn100-x合金系统(X=90;70;50;30;10)溅射Sn和Al原子的角分布及其择优溅射变化。提出一个考虑靶点表面形貌和元素局域富集对发射原子影响的模型;分析结果和实验数据符合较好.
收录类别CNKI
语种中文
公开日期2013-01-23
源URL[http://ir.sinap.ac.cn/handle/331007/10861]  
专题上海应用物理研究所_中科院上海原子核所2003年前
推荐引用方式
GB/T 7714
王震遐,章骥平,潘冀生,等. Al_xSn_(100-x)合金系统的Ar~+溅射研究[J]. 核技术,1994(07).
APA 王震遐.,章骥平.,潘冀生.,陶振兰.,朱福英.,...&曾跃武.(1994).Al_xSn_(100-x)合金系统的Ar~+溅射研究.核技术(07).
MLA 王震遐,et al."Al_xSn_(100-x)合金系统的Ar~+溅射研究".核技术 .07(1994).

入库方式: OAI收割

来源:上海应用物理研究所

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