Al-50wt% Sn合金的离子溅射研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 王震遐 ; 章骥平 ; 潘冀生 ; 陶振兰 ; 张慧明 ; 赵烈 ; 曾跃武 ; 王承宝 ; 林祯昌 |
| 刊名 | 物理学报
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| 出版日期 | 1992-09-27 |
| 期号 | 09 |
| 中文摘要 | 用捕获膜技术和卢瑟福背散射(RBS)分析;测定Al-Sn多相合金在30keV Ar~+离子轰击时Al和Sn的溅射原子角分布。溅射后的样品用扫描电子显微镜(SEM)进行观察;并用电子微探针分析仪(EPMA)对轰击样品(靶点)和未轰击样品作成分分析。结果表明;Al的溅射原子角分布近于cosine形状;而Sn却是over-cosine型角分布。本文给出一个按不同表面形貌特征划分的各元素富集区i进行叠加的产额表达式;Y(θ)=∑Y_i(θ);解释了实验结果。 |
| 收录类别 | CNKI |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2013-01-23 |
| 源URL | [http://ir.sinap.ac.cn/handle/331007/10862]  |
| 专题 | 上海应用物理研究所_中科院上海原子核所2003年前 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王震遐,章骥平,潘冀生,等. Al-50wt% Sn合金的离子溅射研究[J]. 物理学报,1992(09). |
| APA | 王震遐.,章骥平.,潘冀生.,陶振兰.,张慧明.,...&林祯昌.(1992).Al-50wt% Sn合金的离子溅射研究.物理学报(09). |
| MLA | 王震遐,et al."Al-50wt% Sn合金的离子溅射研究".物理学报 .09(1992). |
入库方式： OAI收割
来源：上海应用物理研究所
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