荷能团簇束成膜的表面迁移和附着特性的研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 俞国庆 ; 石瑛 ; 欧阳振乾 ; 陈景升 ; 张志滨 ; 朱德彰 ; 潘浩昌 ; 徐洪杰 |
| 刊名 | 核技术
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| 出版日期 | 2001-02-10 |
| 期号 | 02 |
| 中文摘要 | 研究了不同能量的团簇碰撞有机物（ＣＨ３ＳｉＯ３／２）衬底形成的表面形貌。结果表明;团簇能量的增大;增加了团簇原子在基片表面的有效碰撞能和迁移力;也改善了沉积薄膜的附着性、致密性、平整性等。特别是有机物上修饰条纹的出现;是迁移力增加的有力证据。 |
| 收录类别 | CNKI |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2013-01-23 |
| 源URL | [http://ir.sinap.ac.cn/handle/331007/11516]  |
| 专题 | 上海应用物理研究所_中科院上海原子核所2003年前 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 俞国庆,石瑛,欧阳振乾,等. 荷能团簇束成膜的表面迁移和附着特性的研究[J]. 核技术,2001(02). |
| APA | 俞国庆.,石瑛.,欧阳振乾.,陈景升.,张志滨.,...&徐洪杰.(2001).荷能团簇束成膜的表面迁移和附着特性的研究.核技术(02). |
| MLA | 俞国庆,et al."荷能团簇束成膜的表面迁移和附着特性的研究".核技术 .02(2001). |
入库方式： OAI收割
来源：上海应用物理研究所
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