溅射角分布形状与Spike效应的相关性
文献类型：期刊论文
| 作者 | 郑里平 ; 崔福斋 ; 王震遐 ; 陶振兰 ; 陶良 ; 钟毅 |
| 刊名 | 原子与分子物理学报
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| 出版日期 | 1987-12-31 |
| 期号 | 04 |
| 中文摘要 | <正>Sigmund 69年提出的线性碰撞级联理论;成功地解决了多晶体与无定形的单元素靶的溅射产额问题。根据反冲原子速度分布是各向同性的假定;他又推导出单元素靶溅射角分布是cosine形状;即溅射角分布可用A(cosβ)”函数描述;其中形状指数n=1。但是不少实验事实表明;对于中等以上质量的离子和靶原子来说;当离子能≥10~1Kev数量级级时;单元素靶溅射角分布是 over——cosine形状;即形状指数n>1。产生这种现象的机制至今仍不清楚。本文认为:在整个碰撞级联中;不全是线性碰撞; |
| 收录类别 | CNKI |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2013-01-23 |
| 源URL | [http://ir.sinap.ac.cn/handle/331007/11646]  |
| 专题 | 上海应用物理研究所_中科院上海原子核所2003年前 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 郑里平,崔福斋,王震遐,等. 溅射角分布形状与Spike效应的相关性[J]. 原子与分子物理学报,1987(04). |
| APA | 郑里平,崔福斋,王震遐,陶振兰,陶良,&钟毅.(1987).溅射角分布形状与Spike效应的相关性.原子与分子物理学报(04). |
| MLA | 郑里平,et al."溅射角分布形状与Spike效应的相关性".原子与分子物理学报 .04(1987). |
入库方式： OAI收割
来源：上海应用物理研究所
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