聚乙炔的离子注入法掺杂
文献类型：期刊论文
| 作者 | 林森浩 ; 盛康龙 ; 鲍锦荣 ; 荣廷文 ; 邹志宜 ; 沈之荃 ; 杨慕杰 |
| 刊名 | 高分子学报
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| 出版日期 | 1987-08-29 |
| 期号 | 04 |
| 中文摘要 | <正> 离子注入是一种物理摻杂方法;在半导体器件的制备中已得到广泛的应用;它与常规的化学、电化学或热扩散掺杂相比具有一些特点:可以通过质量分析器选取单一的注入离子;故掺杂杂质的纯度高;根据注入离子的剂量和能量;精确控制到掺人杂质的数量和深度等等。近年来;采用离子注入技术进行掺杂;改变聚合物或其它绝缘材料表面性质的研究已逐步引起重视真视。 |
| 收录类别 | CNKI |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2013-01-23 |
| 源URL | [http://ir.sinap.ac.cn/handle/331007/11698]  |
| 专题 | 上海应用物理研究所_中科院上海原子核所2003年前 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 林森浩,盛康龙,鲍锦荣,等. 聚乙炔的离子注入法掺杂[J]. 高分子学报,1987(04). |
| APA | 林森浩.,盛康龙.,鲍锦荣.,荣廷文.,邹志宜.,...&杨慕杰.(1987).聚乙炔的离子注入法掺杂.高分子学报(04). |
| MLA | 林森浩,et al."聚乙炔的离子注入法掺杂".高分子学报 .04(1987). |
入库方式： OAI收割
来源：上海应用物理研究所
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