碰撞能量对荷能团簇碰撞沉积TiN薄膜的结构、形貌及摩擦学特性的影响
文献类型：期刊论文
| 作者 | 陈景升 ; 俞国庆 ; 潘浩昌 ; 朱德彰 ; 徐洪杰 ; 郑志豪 ; 阎逢元 |
| 刊名 | 核技术
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| 出版日期 | 2000-09-10 |
| 期号 | 09 |
| 中文摘要 | 在室温下;以硅（１００）为衬底;在不同的衬底偏压（即团簇不同碰撞能量）的条件下;用荷能团簇碰撞沉积方法制备了ＴｉＮ薄膜。用原子力显微镜和Ｘ射线衍射等技术对ＴｉＮ薄膜的表面形貌和结构进行了研究;并且在维式硬度计和ＳＲＶ微动摩擦磨损试验机上对其摩擦学性能进行了考察。结果表明;在低的偏压情况下;团簇比较松散地堆积在衬底上;而在高偏压时团簇和衬底碰撞破碎;形成附着力强、致密性好及表面非常光滑的薄膜;在一定的偏压范围内;ＴｉＮ薄膜是（２２０）择优取向;ＴｉＮ薄膜具有较高的硬度、较低的摩擦系数和较好的耐磨损性能。 |
| 收录类别 | CNKI |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2013-01-23 |
| 源URL | [http://ir.sinap.ac.cn/handle/331007/11860]  |
| 专题 | 上海应用物理研究所_中科院上海原子核所2003年前 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈景升,俞国庆,潘浩昌,等. 碰撞能量对荷能团簇碰撞沉积TiN薄膜的结构、形貌及摩擦学特性的影响[J]. 核技术,2000(09). |
| APA | 陈景升.,俞国庆.,潘浩昌.,朱德彰.,徐洪杰.,...&阎逢元.(2000).碰撞能量对荷能团簇碰撞沉积TiN薄膜的结构、形貌及摩擦学特性的影响.核技术(09). |
| MLA | 陈景升,et al."碰撞能量对荷能团簇碰撞沉积TiN薄膜的结构、形貌及摩擦学特性的影响".核技术 .09(2000). |
入库方式： OAI收割
来源：上海应用物理研究所
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