三元合金Cu_(76)Ni_(15)Sn_9的离子溅射研究
文献类型:期刊论文
作者 | 王震遐 ; 潘冀生 ; 章骥平 ; 王传珊 ; 李欣年 ; 周树鑫 ; 罗文芸 ; 张慧明 ; 曾跃武 ; 赵烈 |
刊名 | 物理学报
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出版日期 | 1994-12-30 |
期号 | 12 |
中文摘要 | 在27keVAr_+离子轰击时;用收集膜技术结合俄歇谱仪(AES);研究了三元合金Cu_(76)Ni_(15)Sn_9系统的择优溅射行为。同时使用扫描电子显微镜(SEM)与电子探针微分析(EPMA).观察了靶点表面形貌变化并测定了形貌特征微区的合金组份原子的相对百分浓度。结果表明;Cu原子较Ni原子、Ni原子较Sn原子;在所测定范围(0─60°)内择优发射。最后讨论了靶点表面形貌特征和“元素局域富集”现象对择优溅射过程的影响。 |
收录类别 | CNKI |
语种 | 中文 |
公开日期 | 2013-01-23 |
源URL | [http://ir.sinap.ac.cn/handle/331007/11923] ![]() |
专题 | 上海应用物理研究所_中科院上海原子核所2003年前 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 王震遐,潘冀生,章骥平,等. 三元合金Cu_(76)Ni_(15)Sn_9的离子溅射研究[J]. 物理学报,1994(12). |
APA | 王震遐.,潘冀生.,章骥平.,王传珊.,李欣年.,...&赵烈.(1994).三元合金Cu_(76)Ni_(15)Sn_9的离子溅射研究.物理学报(12). |
MLA | 王震遐,et al."三元合金Cu_(76)Ni_(15)Sn_9的离子溅射研究".物理学报 .12(1994). |
入库方式: OAI收割
来源:上海应用物理研究所
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