物理溅射的Monte Carlo模拟
文献类型：期刊论文
| 作者 | 崔福斋 ; 李文治 ; 李恒德 ; 郑里平 |
| 刊名 | 计算物理
 |
| 出版日期 | 1988 |
| 期号 | 02 |
| 中文摘要 | 模拟载能离子在固体传输及原子碰撞级联过程的Monte Carlo程序TCIS;已用于考察物理溅射问题。溅射过程中;低能原子碰撞是很重要的。因此;本文详细研究了二体碰撞计算中时间积分τ的数值大小及其对溅射计算的影响。对TCIS模拟溅射物理模型、输入参数作了介绍;并给出某些模拟研究结果。模拟程序可提供溅射的原子水平的信息;这对于开展有关机理的研究是很有用的。 |
| 收录类别 | CNKI |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2013-01-23 |
| 源URL | [http://ir.sinap.ac.cn/handle/331007/12123]  |
| 专题 | 上海应用物理研究所_中科院上海原子核所2003年前 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 崔福斋,李文治,李恒德,等. 物理溅射的Monte Carlo模拟[J]. 计算物理,1988(02). |
| APA | 崔福斋,李文治,李恒德,&郑里平.(1988).物理溅射的Monte Carlo模拟.计算物理(02). |
| MLA | 崔福斋,et al."物理溅射的Monte Carlo模拟".计算物理 .02(1988). |
入库方式： OAI收割
来源：上海应用物理研究所
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