Silicon-on-Insulator-on-Cavity-Structured Micropressure Sensor
文献类型：期刊论文
| 作者 | Wu, AM ; Wei, X ; Yang, ZF ; Chen, J ; Chen, M ; Bi, DW ; Zhang, ZX（重点实验室） ; Wang, X（重点实验室） |
| 刊名 | SENSORS AND MATERIALS
 |
| 出版日期 | 2011 |
| 卷号 | 23期号:3页码:159-166 |
| 关键词 | Instruments & Instrumentation Materials Science Multidisciplinary |
| ISSN号 | 0914-4935 |
| 学科主题 | Instruments & Instrumentation; Materials Science |
| 收录类别 | SCI |
| 语种 | 英语 |
| 公开日期 | 2013-05-10 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/115109]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_信息功能材料国家重点实验室2008-2012_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Wu, AM,Wei, X,Yang, ZF,et al. Silicon-on-Insulator-on-Cavity-Structured Micropressure Sensor[J]. SENSORS AND MATERIALS,2011,23(3):159-166. |
| APA | Wu, AM.,Wei, X.,Yang, ZF.,Chen, J.,Chen, M.,...&Wang, X.(2011).Silicon-on-Insulator-on-Cavity-Structured Micropressure Sensor.SENSORS AND MATERIALS,23(3),159-166. |
| MLA | Wu, AM,et al."Silicon-on-Insulator-on-Cavity-Structured Micropressure Sensor".SENSORS AND MATERIALS 23.3(2011):159-166. |
入库方式： OAI收割
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