Al2O3/NbAlO/Al2O3 sandwich gate dielectric film on InP
文献类型：期刊论文
| 作者 | Cheng, XH（重点实验室） ; Xu, DP ; Sun, QQ ; He, DW ; Wang, ZJ ; Yu, YH（重点实验室） ; Zhang, DW ; Zhao, QT |
| 刊名 | APPLIED PHYSICS LETTERS
 |
| 出版日期 | 2010 |
| 卷号 | 96期号:2页码:22904 |
| 关键词 | Physics Applied |
| ISSN号 | 0003-6951 |
| 学科主题 | Physics |
| 收录类别 | SCI |
| 原文出处 | 10.1063/1.3292217 |
| 语种 | 英语 |
| 公开日期 | 2013-05-10 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/115111]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_信息功能材料国家重点实验室2008-2012_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Cheng, XH,Xu, DP,Sun, QQ,et al. Al2O3/NbAlO/Al2O3 sandwich gate dielectric film on InP[J]. APPLIED PHYSICS LETTERS,2010,96(2):22904. |
| APA | Cheng, XH.,Xu, DP.,Sun, QQ.,He, DW.,Wang, ZJ.,...&Zhao, QT.(2010).Al2O3/NbAlO/Al2O3 sandwich gate dielectric film on InP.APPLIED PHYSICS LETTERS,96(2),22904. |
| MLA | Cheng, XH,et al."Al2O3/NbAlO/Al2O3 sandwich gate dielectric film on InP".APPLIED PHYSICS LETTERS 96.2(2010):22904. |
入库方式： OAI收割
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