Dynamic annealing versus thermal annealing effects on the formation of hydrogen-induced defects in silicon
文献类型:期刊论文
作者 | di, zf(重点实验室) ; Huang, MQ ; Wang, YQ ; Nastasi, M |
刊名 | APPLIED PHYSICS LETTERS |
出版日期 | 2010 |
卷号 | 97期号:19页码:194101 |
ISSN号 | 0003-6951 |
关键词 | Physics Applied |
学科主题 | Physics |
收录类别 | SCI |
原文出处 | 10.1063/1.3513352 |
语种 | 英语 |
公开日期 | 2013-05-10 |
源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/115117] |
专题 | 上海微系统与信息技术研究所_信息功能材料国家重点实验室2008-2012_期刊论文 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | di, zf,Huang, MQ,Wang, YQ,et al. Dynamic annealing versus thermal annealing effects on the formation of hydrogen-induced defects in silicon[J]. APPLIED PHYSICS LETTERS,2010,97(19):194101. |
APA | di, zf,Huang, MQ,Wang, YQ,&Nastasi, M.(2010).Dynamic annealing versus thermal annealing effects on the formation of hydrogen-induced defects in silicon.APPLIED PHYSICS LETTERS,97(19),194101. |
MLA | di, zf,et al."Dynamic annealing versus thermal annealing effects on the formation of hydrogen-induced defects in silicon".APPLIED PHYSICS LETTERS 97.19(2010):194101. |
入库方式: OAI收割
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