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Dynamic annealing versus thermal annealing effects on the formation of hydrogen-induced defects in silicon

文献类型:期刊论文

作者di, zf(重点实验室) ; Huang, MQ ; Wang, YQ ; Nastasi, M
刊名APPLIED PHYSICS LETTERS
出版日期2010
卷号97期号:19页码:194101
ISSN号0003-6951
关键词Physics Applied
学科主题Physics
收录类别SCI
原文出处10.1063/1.3513352
语种英语
公开日期2013-05-10
源URL[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/115117]  
专题上海微系统与信息技术研究所_信息功能材料国家重点实验室2008-2012_期刊论文
推荐引用方式
GB/T 7714
di, zf,Huang, MQ,Wang, YQ,et al. Dynamic annealing versus thermal annealing effects on the formation of hydrogen-induced defects in silicon[J]. APPLIED PHYSICS LETTERS,2010,97(19):194101.
APA di, zf,Huang, MQ,Wang, YQ,&Nastasi, M.(2010).Dynamic annealing versus thermal annealing effects on the formation of hydrogen-induced defects in silicon.APPLIED PHYSICS LETTERS,97(19),194101.
MLA di, zf,et al."Dynamic annealing versus thermal annealing effects on the formation of hydrogen-induced defects in silicon".APPLIED PHYSICS LETTERS 97.19(2010):194101.

入库方式: OAI收割

来源:上海微系统与信息技术研究所

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