一种基于原子力显微镜的测量衬底上样品高度的装置
文献类型：专利
| 作者 | 李晓军 ; 孙洁林 ; 胡钧 ; 李民乾 ; 何品刚 ; 方禹之 ; 吕军鸿 |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 关键词 | G01N13/16 |
| 中文摘要 | 一种基于原子力显微镜的测量衬底上样品高度 的装置，包括原子力显微镜、函数发生器、示波器等，通过在 导电针尖上施加一定的偏压，从而在针尖与样品之间诱导形成 电场。这种长程的电场力叠加在范德华力上可以扩大针尖与样 品的距离，使针尖在垂直方向上的移动更容易控制，而且可以 在不同的高度上稳定成像。通过调节Asp(针尖上所加的力)参 数或插入扫描频道中的扫描高度参数来改变针尖高度的两种 途径，可得到被测样品的高度。本实用新型结构比较简单，使 用方便，使针尖在垂直方向上的移动更容易控制，在柔软的生 物样品的高度测量上更有优势，很大程度上消除了针尖对样品 的压力。 |
| 公开日期 | 2013-01-23 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | CN03228129 |
| 专利代理 | 肖剑南 |
| 源URL | [http://ir.sinap.ac.cn/handle/331007/10442]  |
| 专题 | 上海应用物理研究所_中科院上海原子核所2003年前 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李晓军,孙洁林,胡钧,等. 一种基于原子力显微镜的测量衬底上样品高度的装置. |
入库方式： OAI收割
来源：上海应用物理研究所
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