一种用于扫描探针显微镜的针尖与样品间距调节装置
文献类型：专利
| 作者 | 胡钧 ; 孙洁林 ; 徐耀良 ; 李民乾 |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 关键词 | G02B21/26 |
| 中文摘要 | 本实用新型属于扫描探针显微镜领域,是一种针 尖与样品间距调节装置。其中的细调元件是一个步进马达。其 稳定性、重复性十分良好,使用方便、使用寿命长、具有互换性, 可用于各种类型的扫描探针显微镜(如:STM)中。 |
| 公开日期 | 2013-01-23 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | CN97242798 |
| 专利代理 | 沈能一 |
| 源URL | [http://ir.sinap.ac.cn/handle/331007/10446]  |
| 专题 | 上海应用物理研究所_中科院上海原子核所2003年前 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 胡钧,孙洁林,徐耀良,等. 一种用于扫描探针显微镜的针尖与样品间距调节装置. |
入库方式： OAI收割
来源：上海应用物理研究所
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