以动态组合模式“蘸笔”纳米刻蚀技术制造纳米图形的方法
文献类型:专利
作者 | 李宾 ; 胡钧 ; 李民乾 ; 张益 ; 汪颖 |
专利国别 | 中国 |
专利类型 | 发明专利 |
中文摘要 | 一种以动态组合模式“蘸笔”纳米刻蚀技术制造 纳米图形的方法,采用以下步骤:A.对基底表面进行处理,使 其达到原子级的平整;B.对原子力显微镜针尖进行修饰,将针 尖直接浸入到蛋白质或DNA或其他感兴趣的溶液中约几分钟 后,拿起吹干,备用;C.对环境温度、湿度进行控制;D.制造 纳米图形:用修饰后的针尖先在基底表面上扫描成像,选定所 需要的区域;用该针尖在选定的区域上制造纳米图形;仍然用 此针尖对所制造的纳米图形进行再次扫描成像,检查所制造的 图形。弥补了现有技术的不足,不但可实现在柔软的生物大分 子表面制造纳米图形的工作,同时也可在其他物体表面制造纳 米图形。 |
学科主题 | B44C1/22 ; G01N13/16 |
公开日期 | 2013-01-23 |
语种 | 中文 |
专利申请号 | CN200410016197 |
专利代理 | 吴林松 |
源URL | [http://ir.sinap.ac.cn/handle/331007/10463] |
专题 | 上海应用物理研究所_中科院上海应用物理研究所2004-2010年 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 李宾,胡钧,李民乾,等. 以动态组合模式“蘸笔”纳米刻蚀技术制造纳米图形的方法. |
入库方式: OAI收割
来源:上海应用物理研究所
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