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铁磁/半导体异质结材料MnSb/Si的物理气相沉积生长

文献类型:期刊论文

作者陈诺夫
刊名半导体学报
出版日期2003-05-08
卷号24期号:5页码:494-498
关键词铁磁/半导体异质结 物理气相沉积 MnSb
通讯作者彭长涛
中文摘要采用一种新的生长铁磁 /半导体异质结材料的方法——物理气相沉积方法生长了一种铁磁 /半导体异质结材料 Mn Sb/Si.对所获得的样品进行特征 X射线能谱分析表明 Mn和 Sb在 Si衬底上的沉积速率相近 ,它们的原子百分数之比接近 1∶ 1.X射线衍射分析发现薄膜中形成了 Mn Sb相 ,样品在室温下测出磁滞回线也从侧面验证了存在 Mn Sb相 .用原子力显微镜对样品的表面进行观察 ,发现 Mn Sb呈有规则形状的小晶粒状 ,晶粒大小比较均匀 ,尺寸大多数在 5 0 0 nm左右 .
语种中文
公开日期2009-08-03 ; 2010-08-20
源URL[http://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/42108]  
专题力学研究所_力学所知识产出(1956-2008)
推荐引用方式
GB/T 7714
陈诺夫. 铁磁/半导体异质结材料MnSb/Si的物理气相沉积生长[J]. 半导体学报,2003,24(5):494-498.
APA 陈诺夫.(2003).铁磁/半导体异质结材料MnSb/Si的物理气相沉积生长.半导体学报,24(5),494-498.
MLA 陈诺夫."铁磁/半导体异质结材料MnSb/Si的物理气相沉积生长".半导体学报 24.5(2003):494-498.

入库方式: OAI收割

来源:力学研究所

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