紫外波段SiO_2/Si_3N_4介质膜分布式布拉格反射镜的制备与研究
文献类型：期刊论文
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| 作者 | 李志成,刘斌,张荣,张曌,陶涛,谢自力,陈鹏,江若琏,郑有炓,姬小利 |
| 刊名 | 物理学报
 ; 物理学报
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| 出版日期 | 2012 ; 2012 |
| 卷号 | 61期号:8页码:087802-1-087802-6 |
| 学科主题 | 光电子学 ; 光电子学 |
| 收录类别 | CSCD |
| 语种 | 中文 ; 中文 |
| 公开日期 | 2013-05-29 ; 2013-05-29 |
| 源URL | [http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/24114]  |
| 专题 | 半导体研究所_中科院半导体照明研发中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李志成,刘斌,张荣,张曌,陶涛,谢自力,陈鹏,江若琏,郑有炓,姬小利. 紫外波段SiO_2/Si_3N_4介质膜分布式布拉格反射镜的制备与研究, 紫外波段SiO_2/Si_3N_4介质膜分布式布拉格反射镜的制备与研究[J]. 物理学报, 物理学报,2012, 2012,61, 61(8):087802-1-087802-6, 087802-1-087802-6. |
| APA | 李志成,刘斌,张荣,张曌,陶涛,谢自力,陈鹏,江若琏,郑有炓,姬小利.(2012).紫外波段SiO_2/Si_3N_4介质膜分布式布拉格反射镜的制备与研究.物理学报,61(8),087802-1-087802-6. |
| MLA | 李志成,刘斌,张荣,张曌,陶涛,谢自力,陈鹏,江若琏,郑有炓,姬小利."紫外波段SiO_2/Si_3N_4介质膜分布式布拉格反射镜的制备与研究".物理学报 61.8(2012):087802-1-087802-6. |
入库方式： OAI收割
来源：半导体研究所
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