微机电系统多场耦合仿真分析
文献类型：期刊论文
| 作者 | 赵亚溥 ; 赵亚溥
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| 刊名 | 动力学与控制学报
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| 出版日期 | 2004-02-15 |
| 卷号 | 2期号:1页码:70-74 |
| 关键词 | 微电子机械系统 能量场耦合 计算机辅助设计 |
| 通讯作者 | 高行山 |
| 中文摘要 | 在微电子机械系统(MEMS)研究和设计中,微系统数值仿真分析是一个重要研究领域.本文对MEMS 中多种能量场耦合问题的各种数值仿真分析方法进行了综合评述.分析了该领域目前的研究现状并指出了其今后的发展方向. |
| 资助信息 | 中科院力学研究所LNM资助项目(2003002)．~~ |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2009-08-03 ; 2010-08-20 |
| 源URL | [http://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/42268]  |
| 专题 | 力学研究所_力学所知识产出(1956-2008) |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 赵亚溥,赵亚溥. 微机电系统多场耦合仿真分析[J]. 动力学与控制学报,2004,2(1):70-74. |
| APA | 赵亚溥,&赵亚溥.(2004).微机电系统多场耦合仿真分析.动力学与控制学报,2(1),70-74. |
| MLA | 赵亚溥,et al."微机电系统多场耦合仿真分析".动力学与控制学报 2.1(2004):70-74. |
入库方式： OAI收割
来源：力学研究所
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