滚动转盘式超微粉表面溅射包覆纳米金属复合膜装置
文献类型：专利
| 作者 | 华伟刚, 宫骏, 闻立时, 孙超, 肖金泉, 关德慧, 谭明晖, 刘艳梅 and 裴志亮 |
| 发表日期 | 2001-12-12 |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 权利人 | 中国科学院金属研究所 |
| 中文摘要 | 本装置属于一种超微粉表面纳米复合膜处理技术,其装置是上面为一转盘,下面为溅射靶面,且之间距离可调,与水平面成45度角,下面设有转轴,转轴端部装有蜗轮、蜗杆,由直流电机带动,转盘下面设有多个载料托盘。优点：结构简单,制作容易,结合磁控溅射工艺,可在多种超微粉末表面溅射包覆纳米金属薄膜,解决了超微粉末易团聚、流动性差的缺点。 |
| 公开日期 | 2001-12-12 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | CN2464483 |
| 源URL | [http://210.72.142.130/handle/321006/66051]  |
| 专题 | 金属研究所_中国科学院金属研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 华伟刚, 宫骏, 闻立时, 孙超, 肖金泉, 关德慧, 谭明晖, 刘艳梅 and 裴志亮. 滚动转盘式超微粉表面溅射包覆纳米金属复合膜装置. 2001-12-12. |
入库方式： OAI收割
来源：金属研究所
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