一种玻璃镀膜靶材及其制备方法
文献类型：专利
| 作者 | 徐娜, 常新春, 侯万良, 张甲, 张春智, 张凤军, 王建强 and 全明秀 |
| 发表日期 | 2011-04-20 |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利类型 | 发明专利 |
| 权利人 | 中国科学院金属研究所 |
| 中文摘要 | 本发明涉及玻璃镀膜靶材制备领域,具体为一种玻璃镀膜靶材及其制备方法,解决磁控溅射玻璃镀膜靶材制备问题。该玻璃镀膜靶材采用的原材料为SiAl粉末,由纯Si粉和纯Al粉机械混合制得,混合粉末中各组元质量百分比及粒度为：Si粉85-95wt％,粒度45-125μm；Al粉5-15wt％,粒度30-100μm。该玻璃镀膜靶材采用常压等离子喷涂技术制备,制备工艺参数为：电流400-500A,电压45-58V,送粉量40-60g/min,送粉气流量5.0-7.0L/min,主气流量41-43L/min,主气压力0.45-0.55MPa,次气流量1.6-2.8L/min,次气压力0.25-0.35MPa,喷... |
| 公开日期 | 2011-04-20 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | CN102021515A |
| 源URL | [http://210.72.142.130/handle/321006/66517]  |
| 专题 | 金属研究所_中国科学院金属研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 徐娜, 常新春, 侯万良, 张甲, 张春智, 张凤军, 王建强 and 全明秀. 一种玻璃镀膜靶材及其制备方法. 2011-04-20. |
入库方式： OAI收割
来源：金属研究所
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