一种大面积高速度热丝化学气相沉积金刚石的方法及设备
文献类型：专利
| 作者 | 闻立时, 黄荣芳 and 陈广超 |
| 发表日期 | 1997-09-24 |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利类型 | 发明专利 |
| 权利人 | 中国科学院金属研究所 |
| 中文摘要 | 一种大面积高速度热丝化学气相沉积金刚石的方法,采用通常的氢与甲烷的比例,甲烷占总流量的1—1．5％,混合气体流量10～200SCCM／cm2；保持反应区温度在2000～2600℃,其特征在于：将氢气对准钨丝,甲烷气对准两根钨丝之间的空档均匀地吹入反应区。本发明使设备钨丝的寿命可以得到很大提高。 |
| 公开日期 | 1997-09-24 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | CN1160089 |
| 源URL | [http://210.72.142.130/handle/321006/66620]  |
| 专题 | 金属研究所_中国科学院金属研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 闻立时, 黄荣芳 and 陈广超. 一种大面积高速度热丝化学气相沉积金刚石的方法及设备. 1997-09-24. |
入库方式： OAI收割
来源：金属研究所
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