一种纳米叠层TiN梯度膜及其制备方法
文献类型：专利
| 作者 | 于志明, 饶光斌, 徐家寅, 柯伟 and 李依依 |
| 发表日期 | 2008-11-05 |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利类型 | 发明专利 |
| 权利人 | 中国科学院金属研究所 |
| 中文摘要 | 本发明涉及离子镀膜技术,具体为一种纳米叠层TiN梯度膜及其制备方法, 解决工作温度低于600℃,由高温合金制成的汽车发动机阀门、飞机叶片等零部 件的表面耐磨、耐腐蚀问题,以及常规TiN离子镀膜镀层易开裂问题。本发明利 用离子镀膜技术在高温合金表面上沉积纳米叠层TiN梯度膜。其制备方法：首先 除去合金表面上的油污,在有机溶剂中超声清洗；然后,将洗净的试样装卡在卡 具上并置入离子镀膜设备的真空室内,抽真空到所需真空度并加热到一定的温度 后通氩气进行离子轰击清洗；最后,在镀膜过程中通过调整蒸发源束流、负偏压 以及氮气流量的变化,获得具有良好抑制... |
| 公开日期 | 2008-11-05 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | CN101298655 |
| 源URL | [http://210.72.142.130/handle/321006/67277]  |
| 专题 | 金属研究所_中国科学院金属研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 于志明, 饶光斌, 徐家寅, 柯伟 and 李依依. 一种纳米叠层TiN梯度膜及其制备方法. 2008-11-05. |
入库方式： OAI收割
来源：金属研究所
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