一种热丝化学气相沉积金刚石的设备
文献类型：专利
| 作者 | 闻立时, 黄荣芳, 陈岩, 刘德义 and 程新红 |
| 发表日期 | 1998-06-03 |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 权利人 | 中国科学院金属研究所 |
| 中文摘要 | 一种热丝化学气相沉积金刚石的设备,由反应气体入口,热丝加热器,样品座等部分构成,其特征在于：反应气体入口下方安装有气体分配器,气体分配器上部为塔式结构,内装1—10层多孔节流隔板,分配器的下端为筒式结构,正对下方的热丝加热器；热丝加热器为等距平行加热丝平面阵列,水平放置；加热器正下方与其垂直正交设置有等距平行的支撑丝平面阵列；正对加热器下方为带出气孔的样品座；样品座周围设有1—10圈辅助加热丝。本实用新型可以实现大面积地生长优质金刚石。 |
| 公开日期 | 1998-06-03 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | CN2283067 |
| 源URL | [http://210.72.142.130/handle/321006/67432]  |
| 专题 | 金属研究所_中国科学院金属研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 闻立时, 黄荣芳, 陈岩, 刘德义 and 程新红. 一种热丝化学气相沉积金刚石的设备. 1998-06-03. |
入库方式： OAI收割
来源：金属研究所
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