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一种向金属材料中引入氦的方法

文献类型:专利

作者刘实, 王隆保, 郑华, 马爱华, 于洪波 and 王贤艳
发表日期2004-11-24
专利国别中国
专利类型发明专利
权利人中国科学院金属研究所
中文摘要一种向金属材料中引入氦的方法,采用溅射镀膜技术,其特征在于:在镀膜的同时,向膜材表面注入低能氦离子束,离子束的能量低于1000eV。通过实施本发明的技术,较好地解决了向材料(膜材)中引入高浓度氦的问题。与传统方法相比,引入效率高,费用少,氦含量高。
公开日期2004-11-24
语种中文
专利申请号CN1548573
源URL[http://210.72.142.130/handle/321006/67640]  
专题金属研究所_中国科学院金属研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
刘实, 王隆保, 郑华, 马爱华, 于洪波 and 王贤艳. 一种向金属材料中引入氦的方法. 2004-11-24.

入库方式: OAI收割

来源:金属研究所

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