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有机硅烷激光气相合成硅基超细粉

文献类型:专利

作者梁勇, 李亚利, 郑丰, 肖克沈 and 线全刚
发表日期1996-01-24
专利国别中国
专利类型发明专利
权利人中国科学院金属研究所
中文摘要一种激光气相合成硅基超细粉的方法,其特征在于:以有机硅烷为主体反应物,以氢和/或氨为附加反应气,在下述工艺条件下:激光功率密度(P):500~6000W/cm2,反应压力(Pe):0.2~1atm,反应总气流量(Φt):1200~6000cm3/min,反应时间(t):0.2~4ms,反应温度(T):600~1800℃,合成硅基超细粉。用该方法可大幅度降低成本,高质量地合成硅基超细粉。
公开日期1996-01-24
语种中文
专利申请号CN1115301
源URL[http://210.72.142.130/handle/321006/67959]  
专题金属研究所_中国科学院金属研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
梁勇, 李亚利, 郑丰, 肖克沈 and 线全刚. 有机硅烷激光气相合成硅基超细粉. 1996-01-24.

入库方式: OAI收割

来源:金属研究所

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