金属薄膜/箔力学性能临界特征尺寸的测试系统和方法
文献类型:专利
作者 | 张广平,郏义征,张摈 |
发表日期 | 2010-05-19 |
专利国别 | 中国 |
权利人 | 中国科学院金属研究所 |
公开日期 | 2013-06-19 |
语种 | 中文 |
专利申请号 | 200710010241.4 |
源URL | [http://210.72.142.130/handle/321006/68252] ![]() |
专题 | 金属研究所_中国科学院金属研究所 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 张广平,郏义征,张摈. 金属薄膜/箔力学性能临界特征尺寸的测试系统和方法. 2010-05-19. |
入库方式: OAI收割
来源:金属研究所
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