低密度 InAs/GaAs 量子点生长及其单光子源器件工艺研究
文献类型:学位论文
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作者 | 李密锋 |
学位类别 | 博士 |
答辩日期 | 2013 ; 2013 |
文献子类 | 博士 |
授予单位 | 中国科学院研究生院 ; 中国科学院研究生院 |
授予地点 | 北京 ; 北京 |
导师 | 牛智川 ; 倪海桥 ; 牛智川 ; 倪海桥 |
学位专业 | 微电子与固体电子学 |
学位专业 | 微电子与固体电子学 |
学科主题 | 半导体物理 ; 半导体物理 |
语种 | 中文 ; 中文 |
公开日期 | 2013-06-20 ; 2013-06-20 |
源URL | [http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/24173] ![]() |
专题 | 半导体研究所_半导体超晶格国家重点实验室 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 李密锋. 低密度 InAs/GaAs 量子点生长及其单光子源器件工艺研究, 低密度 InAs/GaAs 量子点生长及其单光子源器件工艺研究[D]. 北京, 北京. 中国科学院研究生院, 中国科学院研究生院. 2013, 2013. |
入库方式: OAI收割
来源:半导体研究所
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