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掺氮中子擅变区熔硅单晶的制备

文献类型:成果

主要完成人梁骏吾 ; 邓礼生 ; 郑红军 ; 黄大定 ; 栾洪发
获奖日期1988
获奖类别院科技进步奖
获奖等级一等奖
关键词硅单晶
学科主题半导体材料
英文摘要于G批量导入至Hzhangdi; Made available in DSpace on 2010-04-13T00:43:34Z (GMT). No. of bitstreams: 0 Previous issue date: 1988
语种中文
源URL[http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/10974]  
专题半导体研究所_中国科学院半导体研究所(2009年前)
推荐引用方式
GB/T 7714
梁骏吾,邓礼生,郑红军,等. 掺氮中子擅变区熔硅单晶的制备. 院科技进步奖:一等奖. 1988.

入库方式: OAI收割

来源:半导体研究所

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