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集成电路用半绝缘砷化镓热稳定性和均匀性研究

文献类型:成果

主要完成人林兰英 ; 何宏家 ; 刘巽琅 ; 曹福年 ; 白玉珂
获奖日期1991
获奖类别院科技进步奖
获奖等级三等奖
关键词半绝缘砷化镓
学科主题半导体材料
英文摘要于G批量导入至Hzhangdi; Made available in DSpace on 2010-04-13T00:43:36Z (GMT). No. of bitstreams: 0 Previous issue date: 1991
语种中文
源URL[http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/11012]  
专题半导体研究所_中国科学院半导体研究所(2009年前)
推荐引用方式
GB/T 7714
林兰英,何宏家,刘巽琅,等. 集成电路用半绝缘砷化镓热稳定性和均匀性研究. 院科技进步奖:三等奖. 1991.

入库方式: OAI收割

来源:半导体研究所

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