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MBE-IV型分子束外延和金属有机源分子束外延设备

文献类型:成果

主要完成人孔梅影 ; 孙殿照 ; 梁基本 ; 韩汝水 ; 朱世荣
获奖日期1992
获奖类别院科技进步奖
获奖等级一等奖
关键词分子束外延
学科主题半导体材料
英文摘要于G批量导入至Hzhangdi; Made available in DSpace on 2010-04-13T00:43:37Z (GMT). No. of bitstreams: 0 Previous issue date: 1992
语种中文
源URL[http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/11026]  
专题半导体研究所_中国科学院半导体研究所(2009年前)
推荐引用方式
GB/T 7714
孔梅影,孙殿照,梁基本,等. MBE-IV型分子束外延和金属有机源分子束外延设备. 院科技进步奖:一等奖. 1992.

入库方式: OAI收割

来源:半导体研究所

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