场离子显微镜-原子探针的研制
文献类型：成果
| 主要完成人 | 郭可信 ; 任大刚 |
| 获奖日期 | 1984 |
| 关键词 | 场离子显微镜 原子探针 显微镜 场离子 |
| 中文摘要 | 场离子显微镜－原子探针是研究金属材料及半导体显微结构的工具。其性能指标为：真空度≤５×０．００００００００１托；分辨率～３埃；原子探针质量分辨率≥１００；检测效率～５０％。该仪器设计合理，实测的各主要技术指标分别达到了设计要求，其中场离子显微镜的图象分辨率（～３埃）和原子探针的质量分辨率（三级测试的平均值（ｍ／ｎ）／△（ｍ／ｎ）约２４０）两项主要指标达到国际同类仪器的较好水平。该项成果属国内首创。 |
| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://210.72.142.130/handle/321006/68480]  |
| 专题 | 金属研究所_中国科学院金属研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 郭可信,任大刚. 场离子显微镜-原子探针的研制. . 1984. |
入库方式： OAI收割
来源：金属研究所
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