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超声气体雾化线形喷嘴

文献类型:成果

主要完成人王国志
获奖日期1999
关键词气相沉积 喷嘴 超声雾化
中文摘要超声气体雾化线形喷嘴的特征是:该线形喷嘴主要由左右两个长方形的雾化室组合而成,雾化室的中间留有线形液流口,雾化室下方沿液流口方向开有雾化小孔,小孔与液流成一定角度θ,θ在15°~75°之间,它能使沉积出的板坯均匀而平整。
语种中文
源URL[http://210.72.142.130/handle/321006/68487]  
专题金属研究所_中国科学院金属研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
王国志. 超声气体雾化线形喷嘴. . 1999.

入库方式: OAI收割

来源:金属研究所

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