超声气体雾化线形喷嘴
文献类型:成果
主要完成人 | 王国志 |
获奖日期 | 1999 |
关键词 | 气相沉积 喷嘴 超声雾化 |
中文摘要 | 超声气体雾化线形喷嘴的特征是:该线形喷嘴主要由左右两个长方形的雾化室组合而成,雾化室的中间留有线形液流口,雾化室下方沿液流口方向开有雾化小孔,小孔与液流成一定角度θ,θ在15°~75°之间,它能使沉积出的板坯均匀而平整。 |
语种 | 中文 |
源URL | [http://210.72.142.130/handle/321006/68487] ![]() |
专题 | 金属研究所_中国科学院金属研究所 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 王国志. 超声气体雾化线形喷嘴. . 1999. |
入库方式: OAI收割
来源:金属研究所
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