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磁控溅射及多弧镀靶材

文献类型:成果

主要完成人中国科学院金属研究所
获奖日期2003
关键词磁控溅射 多弧镀靶材 合金靶材 高纯铬靶 刀具材料 茶色玻璃镀膜
中文摘要项目介绍:用于磁控溅射镀茶色玻璃的高纯铬靶(板状、圆柱状),现用真空感应熔炼铸造法生产,提高了质量(纯度达99.5%以上),降低了成本,供给国内、外厂家使用。多弧氮化钛铝镀用于刃具及装饰行业,硬度高、韧性好、抗氧化温度高,可提高刀具寿命5-7倍。为其使用的Ti-Al(5、10、30%)合金靶材,用特种真空感应熔铸造技术生产,规格齐全,价廉物美,销往国内外使用。
语种中文
源URL[http://210.72.142.130/handle/321006/68504]  
专题金属研究所_中国科学院金属研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
中国科学院金属研究所. 磁控溅射及多弧镀靶材. . 2003.

入库方式: OAI收割

来源:金属研究所

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