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金属研究所
中国科学院金属研究所
低温离子镀TiN薄膜性能研究
文献类型:成果
主要完成人
刘技文
;
于力
;
赵杰
;
王慧君
获奖日期
2002
关键词
离子镀
低温离子镀
TiN薄膜
性能
金属覆层
耐磨性
中文摘要
研究低温条件下(<450℃)离子镀TiN的可行性及对性能的影响,发现在150~450℃模材的显微硬度、耐磨性、显微结构均能满足实用要求,添加稀土元素增加模材与基材的结合力。对进一步开展应用有着重要的指导意义。
语种
中文
源URL
[
http://210.72.142.130/handle/321006/68542
]
专题
金属研究所_中国科学院金属研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
刘技文,于力,赵杰,等. 低温离子镀TiN薄膜性能研究. . 2002.
入库方式:
OAI收割
来源:
金属研究所
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