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辉光放电充电光谱对金属与合金表面逐层分析新技术

文献类型:成果

主要完成人任建世 ; 马洪波 ; 张功抒
获奖日期1999
关键词金属表面分析 光年光放电充电光谱 光谱分析 电子表面分析技术
中文摘要辉光放电是利用阴极溅射的作用使分析样品一层层均匀的剥落,而后进入负辉区激发发光,记录不同曝光时间发出的光谱不仅可以研究材料表面的化学组成,而且可以研究组成随深度而变化的情况。辉光放电光源的这一特点,可以用作金属表面逐层分析。该项目研究的主要内容是采用辉光放电光源作为激发源,设计组合成辉光放电光电光谱仪,开展新的逐层分析新技术和新方法,从而提高了光电光谱仪整体服务能力。该项目主要完成内容:新型辉光放电灯的设计。首先提出辉光放电阴极放电区域限制的新方法,研制成功分析用的新型辉光放电灯,同Grimm灯比较,取消了阴极并简化了阴极,用一特殊石英环非常有效地限制阴极放电区域,即可分析平板样品,也可分析球面样品;组装成功了辉光放电作为激发源的光电谱仪,仪器工作分析过程,放电电流的测量均用计算机控制,是国内首次组装成功这种仪器;建立了对金属材料表面逐层分析新技术。建立分析面积为平方毫米,深度上百个微米,层间分辨率为零点几个微米,且有宏观平均统计意义的表面分析技术。
语种中文
源URL[http://210.72.142.130/handle/321006/68699]  
专题金属研究所_中国科学院金属研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
任建世,马洪波,张功抒. 辉光放电充电光谱对金属与合金表面逐层分析新技术. . 1999.

入库方式: OAI收割

来源:金属研究所

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