热解氮化硼材料
文献类型:成果
主要完成人 | 赵凤鸣 ; 王勇 ; 史文海 |
获奖日期 | 1984 |
关键词 | 化学气体沉程 半导体器件 医疗 化学工业 电子工业 宇航 热解 非金属材料 氮化硼 热解氮化硼 |
中文摘要 | 热解氮化硼材料在国外广泛的应用于宇航、电子、电工、化工、特种冶金、医疗等领域。在我国已成功应用在半导体行业,试用在电子管、冶炼、非晶态等方面。该技术采用化学气相沉积原理、关键是沉积温度,气体混合比、炉内压力和炉膛的几何形状。经测试纯度99.99%BN。晶体结构、显微结构、力学、热学、电学、微波和红外性能达到美国联合碳化公司的产品标准。它的社会效益在于打破禁运,填补空白,在我国开拓了一个新的材料领域,并使我国成为世界上除美、英外第三个拥有该技术与材料的国家。该技术的转让费要达上千万美元,该材料引起我国分子束外延技术,控制半绝缘砷化镓单晶技术的突变。它的直接和间接经济效益创产值上千万元。 |
语种 | 中文 |
源URL | [http://210.72.142.130/handle/321006/68918] ![]() |
专题 | 金属研究所_中国科学院金属研究所 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 赵凤鸣,王勇,史文海. 热解氮化硼材料. . 1984. |
入库方式: OAI收割
来源:金属研究所
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