特殊处理气瓶及其配套件
文献类型:成果
主要完成人 | 中国科学院金属研究所 |
获奖日期 | 2003 |
关键词 | 气瓶 电子气体气瓶 内壁涂层气瓶 CL-1型 氟树脂涂层 气瓶配套件 |
中文摘要 | CL-1型特殊处理气瓶系列选用一号氟树脂进行内涂。气瓶内壁涂层光洁、配套性广、有憎水、化学惰性、保纯、抗腐蚀等特点,其耐压为14.7MPa,耐热<120℃,耐低温-196℃,适用于SiH<,4>/N<,2>,B<,2>H<,6>/N<,2>,PH<,3>/N<,2,AzH<,3>/N<,2>,HCl/N<,2>,SiH<,2>Cl<,2>等多种电子气体的优良包装容器,也可用于其它H<,2>,Ar等背景气和高纯气体以及标准气体,浓度及纯度稳定性长期考核无变化。CL-1型气瓶充装电子气应用于生产高品位电子器件。该特殊处理气瓶达到Air Spectra Steel气瓶质量水平。该项研究成果填补了中国高档次电子气瓶处理的空白,技术指标达到国际同类产品先进水平并有一定创新。目前已建成年产1000瓶的气瓶特殊处理中试生产线,实现了机械化,半自动化,部分电脑控制。 |
语种 | 中文 |
源URL | [http://210.72.142.130/handle/321006/68968] ![]() |
专题 | 金属研究所_中国科学院金属研究所 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 中国科学院金属研究所. 特殊处理气瓶及其配套件. . 2003. |
入库方式: OAI收割
来源:金属研究所
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