用红外热成像技术测量MEMS器件的热特性
文献类型：期刊论文
| 作者 | 朱德忠 ; 张荣海 ; 顾毓沁 ; 郝京阳 |
| 刊名 | 工程热物理学报
 |
| 出版日期 | 2003 |
| 卷号 | 24期号:4页码:679 ，681 |
| 公开日期 | 2013-08-08 |
| 源URL | [http://ir.etp.ac.cn/handle/311046/67290]  |
| 专题 | 工程热物理研究所_工程热物理学报_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 朱德忠,张荣海,顾毓沁,等. 用红外热成像技术测量MEMS器件的热特性[J]. 工程热物理学报,2003,24(4):679 ，681. |
| APA | 朱德忠,张荣海,顾毓沁,&郝京阳.(2003).用红外热成像技术测量MEMS器件的热特性.工程热物理学报,24(4),679 ，681. |
| MLA | 朱德忠,et al."用红外热成像技术测量MEMS器件的热特性".工程热物理学报 24.4(2003):679 ，681. |
入库方式： OAI收割
来源：工程热物理研究所
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