一种双氧化孔径的高功率高速垂直腔面发射激光器
文献类型：专利
| 作者 | 罗玉辉; 陈柱元 |
| 专利号 | CN109038215A |
| 著作权人 | 深亮智能技术(中山)有限公司 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 一种双氧化孔径的高功率高速垂直腔面发射激光器 |
| 英文摘要 | 本发明公开了一种双氧化孔径的高功率高速垂直腔面发射激光器，包括依次层叠设置的顶电极、保护层、P型反射镜、第一氧化层、第一包层、多量子阱结构层、第二包层、第二氧化层、N型反射镜、衬底和底电极；所述的第一包层、多量子阱结构层和第二包层组成VCSEL结构；所述的VCSEL结构中部设有谐振腔，所述的第一氧化层在谐振腔对应位置设有第一氧化孔径，所述的第二氧化层在谐振腔对应位置设有第二氧化孔径，所述第一氧化孔径和第二氧化孔径法线重合。优点在于，具有增加输出功率，工作温度范围，可实现的波长范围，以及红色波长区域中的VCSEL的可靠性，以及更长的波长区域。 |
| 公开日期 | 2018-12-18 |
| 申请日期 | 2018-08-28 |
| 状态 | 申请中 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/43269]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 深亮智能技术(中山)有限公司 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 罗玉辉,陈柱元. 一种双氧化孔径的高功率高速垂直腔面发射激光器. CN109038215A. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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