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電界効果型光変調器および半導体光素子の製造方法

文献类型:专利

作者川西 秀和
专利号JP2001142037A
著作权人沖電気工業株式会社
国家日本
文献子类发明申请
其他题名電界効果型光変調器および半導体光素子の製造方法
英文摘要【課題】 光導波路の温度上昇の抑制により高光入力耐性を実現したEA変調器を提供する。 【解決手段】 EA-DFB100は,EA変調器領域102と分離領域104とDFB領域106とを備えている。EA-DFB100には,EA変調器領域102の光導波路120両脇に金属薄膜182が形成されている。金属薄膜182は,光導波路120の光入力端120a付近で局所的に大きな光吸収が生じた場合に当該光入力端120a付近を冷却するとともに,光導波路120全体を冷却する。EA変調器領域102では,かかる金属薄膜182の作用により,光導波路120の温度上昇による破損を防止することができる。
公开日期2001-05-25
申请日期1999-11-17
状态失效
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/43634]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位沖電気工業株式会社
推荐引用方式
GB/T 7714
川西 秀和. 電界効果型光変調器および半導体光素子の製造方法. JP2001142037A.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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