面発光レーザ及びその製造方法
文献类型:专利
作者 | 舘野 功太; 竹ノ内 弘和; 大磯 義孝; 若月 温; 小濱 剛孝; 黒川 隆志 |
专利号 | JP1997027650A |
著作权人 | 日本電信電話株式会社 |
国家 | 日本 |
文献子类 | 发明申请 |
其他题名 | 面発光レーザ及びその製造方法 |
英文摘要 | 【目的】エッチングプロセスを行うことなく平坦な表面を有した屈折率導波型の面発光レーザ及びその製造方法を提供する。 【構成】面発光レーザの作製における、結晶成長の後、素子周辺に加速されたイオンを注入し成長層深く欠陥5を形成し、その後欠陥5を通しH2O、NH3等のO又はNを含む分子を導入し成長層深く酸化あるいは窒化する。 |
公开日期 | 1997-01-28 |
申请日期 | 1995-07-10 |
状态 | 失效 |
源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/43662] ![]() |
专题 | 半导体激光器专利数据库 |
作者单位 | 日本電信電話株式会社 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 舘野 功太,竹ノ内 弘和,大磯 義孝,等. 面発光レーザ及びその製造方法. JP1997027650A. |
入库方式: OAI收割
来源:西安光学精密机械研究所
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