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面発光レーザ及びその製造方法

文献类型:专利

作者舘野 功太; 竹ノ内 弘和; 大磯 義孝; 若月 温; 小濱 剛孝; 黒川 隆志
专利号JP1997027650A
著作权人日本電信電話株式会社
国家日本
文献子类发明申请
其他题名面発光レーザ及びその製造方法
英文摘要【目的】エッチングプロセスを行うことなく平坦な表面を有した屈折率導波型の面発光レーザ及びその製造方法を提供する。 【構成】面発光レーザの作製における、結晶成長の後、素子周辺に加速されたイオンを注入し成長層深く欠陥5を形成し、その後欠陥5を通しH2O、NH3等のO又はNを含む分子を導入し成長層深く酸化あるいは窒化する。
公开日期1997-01-28
申请日期1995-07-10
状态失效
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/43662]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位日本電信電話株式会社
推荐引用方式
GB/T 7714
舘野 功太,竹ノ内 弘和,大磯 義孝,等. 面発光レーザ及びその製造方法. JP1997027650A.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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