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発光素子用エピタキシャルウェハ

文献类型:专利

作者竹内 隆
专利号JP2006253220A
著作权人HITACHI CABLE LTD
国家日本
文献子类发明申请
其他题名発光素子用エピタキシャルウェハ
英文摘要【課題】 ダミー成長を実施することなくメモリー効果を低減することができ、その結果としてデバイス特性を向上させることのできる発光素子用化合物半導体結晶の構造を提供することにある。 【解決手段】 加熱した基板上にIII族およびV族原料ガス、ドーピング原料及びキャリアガスを供給し、基板上に化合物半導体結晶を気相成長することにより、n型基板1上に少なくともn型クラッド層3、活性層4、p型クラッド層5及びZnをドープしたp型キャップ層6を順次積層した半導体発光素子用化合物半導体結晶において、上記p型キャップ層6の上にさらに化合物半導体結晶から成るZnメモリー効果低減層を少なくとも1層積層した構造とする。 【選択図】図1
公开日期2006-09-21
申请日期2005-03-08
状态失效
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/43677]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位HITACHI CABLE LTD
推荐引用方式
GB/T 7714
竹内 隆. 発光素子用エピタキシャルウェハ. JP2006253220A.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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