Liquid phase epitaxial device
文献类型：专利
| 作者 | YAMADA TOSHIYUKI |
| 专利号 | JP1977056855A |
| 著作权人 | SONY CORP |
| 国家 | 日本 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | Liquid phase epitaxial device |
| 英文摘要 | PURPOSE:To make it possible to select sequentially different type solution with covering substrate by solution constantly by the combination of vessel which contains solution and substrate supporter which have specified structure. |
| 公开日期 | 1977-05-10 |
| 申请日期 | 1975-11-05 |
| 状态 | 失效 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/43796]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | SONY CORP |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | YAMADA TOSHIYUKI. Liquid phase epitaxial device. JP1977056855A. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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