マルチミラーアレイの製造方法
文献类型：专利
| 作者 | 山口 哲; 小林 哲郎; 斉藤 吉正 |
| 专利号 | JP1995287108A |
| 著作权人 | 新日本製鐵株式会社 |
| 国家 | 日本 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | マルチミラーアレイの製造方法 |
| 英文摘要 | 【目的】 マルチストライプアレイ半導体レーザから出射される発散角が大きい多数のビームを容易に1つのスポットに絞り込み可能なマルチミラーアレイの製造方法を提供する。 【構成】 基板上にこのマルチミラーアレイをなす材料を堆積させ、所定の角度だけ傾く方向から異方性エッチングして所望の形状の孔を形成し、その内面にミラーコーティングを施すようにすることにより、通常の半導体プロセスと同様なプロセスでマルチミラーアレイを製造することができ、プロセス管理が容易になる。また、各要素を同時に成形することから1つ1つの要素の均一性も確保されるため、半導体レーザの活性層ストライプを一次元的に配列したマルチストライプアレイ半導体レーザ光の形状を変換して複数ビームを高効率に一つのスポット状に絞り込めるマルチミラーアレイを高精度に製造できる。 |
| 公开日期 | 1995-10-31 |
| 申请日期 | 1994-04-18 |
| 状态 | 失效 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/43822]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 新日本製鐵株式会社 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 山口 哲,小林 哲郎,斉藤 吉正. マルチミラーアレイの製造方法. JP1995287108A. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。