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波長多重用半導体光デバイスとその製造方法

文献类型:专利

作者笠原 健一; 菅生 繁男
专利号JP1995030146A
著作权人日本電気株式会社
国家日本
文献子类发明申请
其他题名波長多重用半導体光デバイスとその製造方法
英文摘要【目的】 WDM光エンターコネクション用の個々に発振波長の異なった面発光レーザアレイと、その波長のみを受けるフォトディテクタアレイを実現する。 【構成】 一回の成長で面発光レーザ側のエピ層のn-DBR層102、活性層103、P-DBR層104を形成し、その上にエッチング分離用のAlAs層105を成長し、更に二重共振器フォトディテクター側のエピ層となるP-DBR層106、光吸収層107、二重共振器層108、カバー層109を成長する。一回の成長でこれらを作るので面発光レーザ側と二重共振器フォトディテクター側の共振ピーク波長は、各ペアで完全に一致させることができる。次にフォトディテクター側の成長層を別のn-GaAs基板110に転写し、別々のプロセスで面発光レーザアレイに二重共振器フォトディテクターアレイを作製する。
公开日期1995-01-31
申请日期1993-07-14
状态失效
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/43830]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位日本電気株式会社
推荐引用方式
GB/T 7714
笠原 健一,菅生 繁男. 波長多重用半導体光デバイスとその製造方法. JP1995030146A.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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