Tantalum-aluminum oxide coatings for semiconductor devices
文献类型：专利
| 作者 | CHAKRABARTI, UTPAL KUMAR; WU, PING; GRODKIEWICZ, WILLIAM HENRY |
| 专利号 | EP0845839A1 |
| 著作权人 | AGERE SYSTEMS OPTOELECTRONICS GUARDIAN CORPORATION |
| 国家 | 欧洲专利局 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | Tantalum-aluminum oxide coatings for semiconductor devices |
| 英文摘要 | An active semiconductor device (10) includes a coating (14) comprising an oxide of tantalum and aluminum. The coating may function as an AR coating or as a passivation coating for a semiconductor laser device. Applications to ICs and optical devices are described. |
| 公开日期 | 1998-06-03 |
| 申请日期 | 1997-11-25 |
| 状态 | 失效 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/43878]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | AGERE SYSTEMS OPTOELECTRONICS GUARDIAN CORPORATION |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | CHAKRABARTI, UTPAL KUMAR,WU, PING,GRODKIEWICZ, WILLIAM HENRY. Tantalum-aluminum oxide coatings for semiconductor devices. EP0845839A1. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。