一种MINI型TO封装的VCSEL制造工艺
文献类型：专利
| 作者 | 温演声; 何家兵; 温金蛟; 陈炳林 |
| 专利号 | CN107425412A |
| 著作权人 | 广东格斯泰气密元件有限公司 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 一种MINI型TO封装的VCSEL制造工艺 |
| 英文摘要 | 本发明公开了一种MINI型TO封装的VCSEL制造工艺，制造工艺包括:将所述MINI TO金属基座、熔封玻璃、引脚装配在石墨夹具上，采用熔封工艺制成MINI TO管座；将所述光窗玻璃、金属管帽装配在石墨夹具上，采用熔封工艺制成MINI TO管帽。将VCSEL芯片共晶固于所述MINI TO管座沉孔内的氮化铝衬底上，以绑线工艺将VCSEL芯片和引脚连接，完成VCSEL芯片封装，将所述MINI TO管帽放置在封好VCSEL芯片的MINI TO管座上，采用锡焊的工艺将MINI TO管帽密封封焊，至此，MINI TO小型化封装VCSEL激光器制造完成。本发明使激光器外形更小，散热性能良好，通过简单的直插式安装在PCB板上。 |
| 公开日期 | 2017-12-01 |
| 申请日期 | 2017-08-08 |
| 状态 | 申请中 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/44156]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 广东格斯泰气密元件有限公司 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 温演声,何家兵,温金蛟,等. 一种MINI型TO封装的VCSEL制造工艺. CN107425412A. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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