半導体レーザ素子の端面角度測定方法
文献类型:专利
作者 | 熊野 哲弥 |
发表日期 | 2014-01-10 |
专利号 | JP5447465B2 |
著作权人 | 住友電気工業株式会社 |
国家 | 日本 |
文献子类 | 授权发明 |
其他题名 | 半導体レーザ素子の端面角度測定方法 |
英文摘要 | 【課題】半導体レーザ素子の共振端面の角度を容易に且つ精度良く測定することができる方法を提供する。 【解決手段】光導波路の光導波方向と交差する方向に並んだ複数の半導体レーザ素子を含む半導体レーザバー2を、共振端面2aが所定の基準線21bに沿うようにステージ21の基準面21a上に固定し、半導体レーザバー2の複数の半導体レーザ素子の共振端面からレーザ光Laを出射させ、レーザ光LaのFFPを測定し、FFPのピーク位置により定まるレーザ光Laの出射方向と、所定の基準線21b及び基準面21aとの相対角度から、半導体レーザ素子の共振端面の角度を算出する。 【選択図】図2 |
公开日期 | 2014-03-19 |
申请日期 | 2011-09-13 |
状态 | 失效 |
源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/44550] ![]() |
专题 | 半导体激光器专利数据库 |
作者单位 | 住友電気工業株式会社 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 熊野 哲弥. 半導体レーザ素子の端面角度測定方法. JP5447465B2. 2014-01-10. |
入库方式: OAI收割
来源:西安光学精密机械研究所
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