基于NV-色心金刚石—MEMS混合结构的陀螺仪及制作方法
文献类型：专利
| 作者 | 房建成; 张宁; 张晨; 袁珩 |
| 发表日期 | 2016-08-17 |
| 专利号 | CN103743390B |
| 著作权人 | 北京航空航天大学 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 授权发明 |
| 其他题名 | 基于NV-色心金刚石—MEMS混合结构的陀螺仪及制作方法 |
| 英文摘要 | 本发明提供的一种基于NV‑色心金刚石—MEMS混合结构的陀螺仪及制作方法，包括信号调理电路板、雪崩光电二极管（APD）、垂直腔面发射激光器（VCSEL）、制作于绝缘衬底上的硅材料（SOI）上的NV‑色心金刚石—MEMS混合结构和滤波片；结合了NV‑色心金刚石自旋陀螺仪和MEMS陀螺仪的优点，克服了NV‑色心金刚石陀螺仪和MEMS陀螺仪的不同误差源影响，具有更高的理论灵敏度和更好的稳定性，具有体积小、成本低、灵敏度高、操作条件简易等优势，对研制新一代基于固体原子自旋效应和MEMS效应的混合陀螺仪有着重要的价值，将服务于未来各个领域特别是低成本的惯性导航和测姿系统。 |
| 公开日期 | 2016-08-17 |
| 申请日期 | 2013-12-31 |
| 状态 | 授权 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/44859]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 北京航空航天大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 房建成,张宁,张晨,等. 基于NV-色心金刚石—MEMS混合结构的陀螺仪及制作方法. CN103743390B. 2016-08-17. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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