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在同一襯底上製造異質結雙極型晶體管和激光二極管

文献类型:专利

作者P‧埃瓦爾德松; U‧艾利森
发表日期2004-05-14
专利号HK1026068A1
著作权人艾利森電話股份有限公司
国家中国香港
文献子类授权发明
其他题名在同一襯底上製造異質結雙極型晶體管和激光二極管
英文摘要异质结双极型晶体管HBT和激光二极管LD由包括多个半导体层(1-9)的公用外延结构制作。晶体管可以由外延步骤结束之后得到的材料直接制作。为制作激光二极管,需要通过向材料中扩散(21)锌来改变结构,这样最顶层材料层的掺杂剂类型将由n-型转变为p-型。这是在晶片上的选定区域内进行的,这样,晶体管和激光二极管可以单片集成在一起。激光器的有源区(5)位于晶体管的集电极(3-5),这为元件的设计提供了一定的自由度,并且可以对两个元件分别进行优化。因此,激光器和HBT可以具有相同的结构,如同它们分别得到优化一样。例如,激光器可以是垂直注入型,因此,可以得到与分立激光器相同的性能。
公开日期2004-05-14
申请日期2000-08-24
状态失效
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/45142]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位艾利森電話股份有限公司
推荐引用方式
GB/T 7714
P‧埃瓦爾德松,U‧艾利森. 在同一襯底上製造異質結雙極型晶體管和激光二極管. HK1026068A1. 2004-05-14.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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